驱动梁;纳米结构材料;硅纳米晶体;临界电压;修正偶联应力理论

研究了材料结构对受分布式静电力作用的纳米晶硅驱动梁的拉入不稳定性的影响。将Nc-Si表征为由纳米晶粒、纳米孔隙和非晶样界面组成的多相材料，以考虑界面、晶粒尺寸、孔隙率和非均匀性表面能对复合材料弹性性能的影响。