分布静电力作用下多相纳米晶硅束的拉入不稳定性

研究了材料结构对纳米硅驱动梁在分布静电力作用下拉入不稳定性的影响。将Nc-Si表示为由纳米晶粒、纳米空隙和类非晶界面组成的多相材料，考虑了界面、晶粒尺寸、孔隙率和非均匀性表面能对复合材料弹性性能的影响。为此，考虑非均匀性表面能效应，建立了多相材料尺寸相关的微力学模型。本文还提出了原子晶格模型来估计ncm界面的弹性模量。由于梁的尺寸急剧减小，晶粒旋转对梁应变能的影响，从而对其刚度的影响被捕获并使用修正耦合应力理论表示。考虑到所有这些影响，利用欧拉-伯努利光束理论，推导了控制方程。采用有限差分法确定了驱动梁的拉入电压。然后进行参数研究，揭示了孔隙率、界面、表面能和晶粒旋转对驱动纳米束拉入不稳定行为的影响。

http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0020722515000257