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界面分层对脆性薄膜通道开裂的影响

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梅慧,庞英杰,黄仁华,国际断裂学报,331-342(2007)。

之前的努力发表在MRS Proceedings上,我们写了一篇同名的期刊文章,有更多的数值结果。虽然主要结论保持不变,但本文注意到一些微妙的问题。

首先,我们没有使用Ye, Suo和Evans(1992)的近似公式,而是完全采用有限元法计算通道裂缝产生的界面分层能量释放率。我们发现在一些情况下近似公式是不准确的。

其次,将界面分层的数值结果与短裂纹的渐近解进行了比较(He and Hutchinson, 1989),两者的一致性很好。值得注意的是,其渐近行为与其他边缘效应下的行为有很大不同(Yu, He and Hutchingson, 2001)。

第三,根据弹性失配和归一化界面韧性构建分层图,其中用数值方法确定有和没有界面分层的通道裂缝边界(与之前的MRS论文略有不同)。

最后,本文讨论了本研究结果对微电子和柔性电子集成结构可靠性的影响。

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