光学技术

我们报道了一种新型光学显微镜，用于在微观尺度上对三维(3D)表面变形和形貌进行全方位、非接触测量。该显微镜系统是基于衍射辅助图像相关(aic)方法与荧光显微镜的无缝集成。我们通过实验证明了该显微镜具有亚微米空间分辨率和亚像素测量精度的三维测量能力。