基于仿生多尺度表面结构的光增强高灵敏度压力传感器

压力传感器因其在健康监测、人机界面、人工智能等领域的潜在应用而备受关注。提高压力传感的性能，特别是灵敏度和检测极限，对扩展相关应用具有重要意义，但迄今为止仍然是一个巨大的挑战。本文报道了具有新型光增强传感性能的高灵敏度压阻式压力传感器。玫瑰花瓣模板的正多尺度毫米/微/纳米结构与表面起皱纳米图案相结合，使组装的压力传感器具有优异的压力传感性能，例如超高灵敏度(70 KPa)−1， <0.5 KPa)，超低检测限(0.88 Pa)，宽压力检测离子范围(0.88 Pa ~ 32kpa)，快速响应时间(30ms)。值得注意的是，简单光照进一步提高了灵敏度到120 KPa−1(<0.5 KPa)，将检测限降低至0.41 Pa。此外，灵活的光照明提供了前所未有的能力，可以在时空上控制多路压力传感器中的任何目标，从而实现光学增强/可定制的传感性能。这种光控策略加上生物启发的多尺度结构的引入，有望帮助设计下一代先进的可穿戴电子设备，实现前所未有的智能应用。

放置功能。板牙。，https://doi.org/10.1002/adfm.201907091