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学期论文:衬底顺应性对压缩下薄膜屈曲分层的影响

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对于高温沉积在基材上的薄膜或涂层,由于热膨胀系数的不匹配,往往会在表层产生残余压应力。在这种残余压应力作用下,表面薄膜容易发生屈曲驱动的分层。观察到各种形状的屈曲区域,包括长直边泡,圆形泡和“电话线”泡。

在刚性衬底的体系上已经做了许多研究。近年来的研究表明,衬底柔顺性对薄膜屈曲应力和界面分层裂纹能量释放率均有重要影响。本报告将重点研究衬底顺应性对直边分层扣的影响。

引用:

  1. 于H.H.和J.W.哈钦森(2002)。衬底柔顺性对薄膜屈曲分层的影响。国际骨折杂志113, 39-55。
  2. Cotterell, B.和Chen, Z.(2000)。柔性衬底上薄膜在压缩下的屈曲和裂纹。国际骨折杂志104, 169 - 179。
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评论

这确实是索志刚团队的一个传统领域,但很有趣。我认为可以结合MEMS研究中广泛使用的泡罩测试的应用。我也很佩服你能成为黄老师团队的一员。

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