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微机电浅拱在动荷载作用下的对称性破缺、断裂和拉入失稳

拱形微机电系统(MEMS)已被用作机械存储器、微继电器、微阀、光开关和数字微镜。双稳结构,如拱,具有多值荷载挠度曲线的特征。

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