在阅读了谐振悬臂质量探测器的摘要后，我想这篇论文可能会引起一些人的兴趣。我和我的同事为2005年秋天在哥伦比亚大学上的MEMS器件课写了这篇文章，当时我还是本科生。这是一个学期的设计项目。
摘要:微机电系统(MEMS)通常具有成本效益
我们最近报道了使用谐振微悬臂梁的质量传感。基于弹性理论，提出了质量传感及其灵敏度的表征方法。
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