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机械梯度弹性体衬底上的可拉伸薄膜晶体管

我们已经制造出可拉伸的薄膜晶体管,并直接连接到具有局部和分级机械顺应性的工程硅基上。制造过程只涉及平面加工和标准加工。脆性有源器件材料在非

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弹性基板上金属薄膜的可逆拉伸机理

黄金薄膜弹性基材可以可逆地拉伸和松弛几十个百分点。薄膜最初形成两种不同的结构,一种是连续的,另一种包含三支微裂纹。我们确定了带微裂纹薄膜的弹性拉伸机理。这种比弹性体硬得多的金属形成了一个渗透网络。

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