多层结构中波浪膜的微扰分析

多层材料中的自由表面在制造或蚀刻过程中会由于表面扩散而产生波动。为了分析波动，需要求解波动膜的弹性解。将波动视为平面的扰动，建立了二维弹性的边值问题。解决的过程是直接的，但非常长，特别是对于一个多层。

平面应变条件下的解很容易转化为等双轴应力条件下的解。因此，本文的解法对处理等双轴应力情况有一定的参考价值。

请查收附件。这是两张Maple工作表。(下载文件后，请将文件扩展名由doc改为mws)第一个Maple工作表(摄动_2layer_post.mws)是有限厚度衬底上的波浪膜，并显示了由于波动引起的应变能变化的显式公式。另一个Maple工作表(摄动_n_layer_post .mws)是用于具有任意层数的多层结构中的波浪膜。

我的Maple是版本10，但我猜文件可以在较低版本的Maple中执行。欢迎提出任何意见。