Abhishek Arora, Rajat Arora, Amit Acharya
http://dx.doi.org/10.1615/IntJMultCompEng.2018026027
摘要
微机电系统学报杜萍;陈程;Hongbing陆;鑫张体积:22, Issue: 1, Page(s): 44 - 53DOI:10.1109 / JMEMS.2012.2213070
应用物理快报99(8): 083701。
http://link.aip.org/link/doi/10.1063/1.3628456
微力学与微工程学报
第20卷第9号095016
http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/20/9/095016
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