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均相外延

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阶梯Si(001)同外延中弹性相互作用与动力学过程的相互作用

相邻的Si(001)表面可能形成阶地条纹,由两种单原子层高台阶隔开;SA某人当原子在台阶上扩散并附着或脱离台阶时,台阶就会移动。在平衡状态下,由于弹性相互作用,台阶间距相等。然而,在取证过程中,SA的流动性小于某人我们模拟了驱动台阶运动的弹性和动力学效应之间的相互作用,并表明在同外延过程中,所有台阶都可能在稳定状态下移动,这样交替的台阶具有时间无关但不相等的宽度。相邻梯田的宽度之比可通过沉积通量和衬底温度来调节。我们用线性摄动分析和数值模拟两种方法研究了稳态生长模式的稳定性。我们阐明了标准Ehrlich-Schwoebel (ES)屏障和逆ES屏障在影响复杂体系中生长稳定性方面所起的微妙作用SA+某人一步对。

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