高度可拉伸聚酰亚胺基板上的无机岛

对于在聚合物衬底上集成无机材料的柔性电子器件，聚合物可以发生大幅度变形，而无机材料通常在小应变下断裂。本文描述了一种使这种装置具有高度可拉伸性的方法。首先在聚酰亚胺基板上涂上一层薄的弹性体，在其上镀上SiNx岛屿是虚构的。当衬底拉伸到较大的应变时，SiNx岛屿仍然完好无损。计算证实，弹性体减少应变在SiNx岛屿的数量级。