业界首个商用现成的MEMS微热板，用于化学传感器应用

加利福尼亚州拉古纳海滩6月23日消息——Kebaili公司是一家位于加州的MEMS和纳米技术领域的领先高科技公司，今天宣布发布KMHP-100系列，这是业界第一款商用的现成MEMS微热板，用于创新化学传感器研究和开发应用的研究人员和科学家。

KMHP-100 MEMS微热板由附着在镀金to -18封装上的微加工硅芯片组成，可确保在恶劣和恶劣的环境应用中可靠和稳定的连续运行。铂电阻薄膜微加热器夹在独立薄膜氮化硅和二氧化硅膜之间，允许微热板在高达650℃的温度下连续可靠地运行°C.独立式薄膜氮化硅膜在热和电上将铂微加热器与硅衬底微观结构隔离，并提供具有低热质量的微热板。KMHP-100 MEMS硅芯片基于科百利公司专有的1mm × 1mm微芯片芯片尺寸的MEMS微传感器平台技术。

Kebaili公司的KMHP-100微热板将允许研究人员和科学家开发基于MEMS，纳米技术，溶胶-凝胶工艺，掺杂金属氧化物，聚合物，功能化碳纳米管和纳米线的创新和超高灵敏度和选择性化学传感器。这些新型化学微传感器将用于医疗，工业，军事，汽车，环境，农业，空间和国土安全应用。

据科贝利公司首席技术官莫科贝利博士说，许多有创造力和才华的科学家没有洁净室设施来设计、制造和测试他们自己的基于mems的微热板，以开发新的和创新的化学传感器。现在有了现成的KMHP-100微热板，这些科学家将把他们的精力和才能集中在传感材料的开发上，这通常不需要MEMS专业知识，并且可以使用洁净室设施。例如，通过使用溶胶-凝胶工艺和微点胶技术，如微移液器将传感材料的微滴沉积到KMHP-100微热板上，可以在很短的时间内开发出新的化学传感器，而无需进入洁净室。薄膜铂微加热器也可以在原位使用，对微沉积的传感材料进行后处理，如在高达650℃的温度下脱水、固化聚合物或退火溶胶-凝胶°C。

通过使用现成的KMHP-100微热板，科学家们基于MEMS微热板平台进行新型化学微传感器的研究和开发工作，可以显着降低其开发成本，并将其开发时间从几周缩短到几天或几个小时，具体取决于其工艺和目标应用。

有关KMHP-100 MEMS微热板的更多信息，请致电949-494-5892，或访问http://www.microhotplate.com

KMHP-100系列已投入生产，现已上市，可在以下网址购买:http://www.microhotplate.com/pd-kmhp-100.cfm

科佰利公司简介

科百利公司设计、制造和销售基于其MEMS/NEMS传感器技术的全系列仪器。这些仪器用于研究和开发，在工业，医疗，汽车，军事和消费应用。