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杂志俱乐部2013年12月主题:生物集成柔性和可拉伸应变计

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介绍

应变计广泛应用于所有工程领域,用于测量固体物体的机械变形。最常见的应变计是在坚硬的塑料底板上粘上一个有图案的金属箔。物体的变形引起箔片的变形,从而引起其电阻的变化。电阻的分数变化ΔR/R0与机械应变的关系为规系数GF: GF = (ΔR/R0)/ε。金属箔的GF通常在2到5之间[1],主要是由于长度和横截面积的变化。与金属箔相比,由于压阻效应[2],半导体器件可以表现出更大的GF,其中由于带隙与原子间间距的依赖,电阻率随应变迅速变化。例如,p型[110]单晶硅的规范因子可高达200[2]。因此,对于精密测量,半导体量规,也称为压敏电阻,比金属箔更受欢迎。这些类型的设备被广泛用作附着在坚硬材料上的“硬”传感器,如金属、混凝土和高模量塑料,用于结构健康监测或定量试样变形。

生物力学、生理学和运动机能学的研究经常需要检测生物组织的机械变形。最先进的软组织应变测量是基于成像技术,如光学相机,MRI, CT或x射线。为了在不使用复杂成像设备的情况下量化软组织变形,需要能够符合生物组织曲线表面并适应通常与之相关的大变形的设备。由硅板制成的普通应变片显然不适合这种用途,但柔性装置(金属箔或硅纳米膜)也是如此,因为它们无法包裹复杂的弯曲物体或拉伸(即以可逆的方式响应大于~1%的应变)。由金属丝制成的电测角计和电扭计可以安装在人体关节上,以弯曲方式测量人体肘部旋转和踝关节背屈等运动,但它们不能映射应变的空间分布,并且对于测量身体柔软部位(如皮肤)的运动也施加了不可接受的大机械约束[3]。橡胶汞应变计是一种解决方案,适用于通过局部测量皮肤延伸来监测血流和组织肿胀[4]。然而,在制造这种装置时的填充要求限制了它们的几何形状和使用方式。例如,大多数设备仅提供单一测量功能,以闭环形式应用于身体的近似圆柱形部位(如脚趾或腿)。其他方法包括基于铂(Pt)的应变片,用于集成到物体表面,如隐形眼镜,以记录角膜曲率的变化,用于青光眼的诊断[5]。这些和其他的努力建立了应变计发展的趋势,朝着越来越软的和可变形的力学,用于生物集成应用。 To monitor the surface strains of human skin due to joint motion, tissue swelling, wound healing, or even emotional expression, a sheet of skin-like, highly sensitive strain gauges that can be directly applied onto the tissue surface would be ideal. Such a system could conformally laminate onto the curvilinear surfaces of human body without any mechanical fixture or adhesives, and with an ability to follow the natural motions of the tissue without delaminating or imposing any mechanical constraint, similar to recently described ‘epidermal’ electronic systems [6].


基于聚合物的生物集成应变计

导电橡胶(ECR)由于其固有的低模量、低密度、弹性力学和明显的压阻性而成为一种很有前途的材料[7]。ecr可以通过将导电填料(如炭黑(CB)、碳纳米管(CNT)或金属纳米颗粒)分散到弹性体(如聚二甲基硅氧烷(PDMS))中来制备。成型和固化工艺可用于操纵这种材料,我们通常称之为导电PDMS (CPDMS),使其成为器件集成所需的几何形状。CPDMS的电学行为,如导电性和抗压性,在很大程度上取决于填料浓度和形貌(如粒径和结构)以及填料-填料和填料-基质的相互作用。在相似的负载水平下,cb掺杂的PDMS (CB-PDMS)的片电阻比多壁CNTs掺杂的PDMS (CNT-PDMS)高出几个数量级[8]。压阻效应被认为是由填料和基体之间不同的可压缩性引起的,因此在各个填料单元之间的分离中施加的应力发生了变化。这些效应的应用范围从触觉传感器[9]到应变计[10]和流量传感器[11]。

我们报道了一种全弹性体应变测量装置的材料和力学,其测量因子高达29,杨氏模量接近人体表皮[12]。这些系统结合了薄的、炭黑掺杂的聚二甲基硅氧烷(CB-PDMS)由于其高电阻率和对应变的强依赖性而作为应变片,而碳纳米管掺杂的PDMS (CNT-PDMS)由于其相对低的电阻率和对应变的弱依赖性而作为互连体。由CB-PDMS的模压直电阻与CNT-PDMS的蛇形互连组成的器件,都在PDMS的共同基质衬底中,其电响应几乎完全取决于CB-PDMS中的应变。这种类型的集成结构的杨氏模量为224 kPa,在人体表皮的值范围内。这种薄片可以很容易地叠层,并与人体皮肤形成保形接触,对自然运动只有适度的机械限制。在这种模式下,手腕的劳损在11.2%到22.6%之间。


硅基生物集成应变计

虽然硅本质上是一种刚性和脆性材料,但通过在聚酰亚胺基片[13]和弹性体基片[14,15]上集成单晶硅纳米膜,可以实现柔性和甚至可拉伸的应变片。聚酰亚胺支撑的应变片过于坚硬,无法集成在柔软的生物组织上,而弹性体支撑的硅应变片首次被用于精确、重复地测量人体手指弯曲[14]和内部器官运动(如心跳)[15]。我们注意到,即使是具有相同厚度、取向和掺杂浓度的硅条,当与不同类型的聚合物衬底结合时,GF和拉伸性(超出硅断裂的外加应变)也会发生数量级的变化。例如,当使用聚酰亚胺衬底时,单轴拉伸试验得到的GF为43,系统的拉伸不能超过1%[13]。相比之下,当衬底为弹性体时,测量到的GF降至0.23,但系统可以拉伸超过25%而不会在硅中产生任何裂纹[14,15]。需要建立考虑硅长度和厚度以及衬底模量和厚度的力学模型,以解释在不同系统中发现的差异,并指导未来柔性/可拉伸硅聚合物应变计的合理设计。

我们最近的工作已经对报道的柔性/可拉伸硅聚合物应变片的测量因子和拉伸性的巨大差异有了系统的理解[16]。建立了有限元模型和解析模型,揭示了硅条长度、聚合物衬底厚度和模量的影响。对无限厚基材和无限长带材两种极限情况的分析结果与有限元计算结果吻合较好。我们发现,硅电阻的应变随衬底材料的不同而变化,而条带长度或衬底厚度对应变水平的影响较小。硅中的平均应变反映了应变系数,而硅中的最大应变决定了系统的可拉伸性。提出并讨论了硅基聚合物应变片的应变系数与拉伸性能之间的权衡问题。


讨论

在追求多方向、更灵敏、更高分辨率的生物集成应变仪的道路上,我们不能忘记组织与应变仪的相互作用。压力表对组织的任何滑动都会导致被低估的张力。一方面,较软的应变片对滑移的驱动力较低;另一方面,在不限制正常组织动力学的情况下,改进的测量组织粘附性,特别是在湿组织表面,也将代表重要的进步。


参考文献

[1]a.l.窗口,应变计技术。伦敦,英国:爱思唯尔应用科学,1992。

[2]C. S. Smith,“锗和硅中的压阻效应”,《物理评论》,第94卷,第42-49页,1954年。

[3]K. Rome和F. Cowieson,“测量踝关节背屈的通用测角仪、液体测角仪和电测角仪的可靠性研究”,《足与踝国际》,第17卷,第28-32页,1996年1月。

[4]G. Bell, P. E. Nielsen, N. a . Lassen和B. Wolfson,“使用含汞橡胶应变计间接测量下肢收缩压”,《心血管研究》,第7卷,282-289页,1973年。

[5]M. Leonardi, E. M. Pitchon, A. Bertsch, P. Renaud和A. Mermoud,“用于眼压监测的无线隐形眼镜传感器:对去核猪眼的评估”,《眼科学报》,第87卷,第433-437页,2009年6月。

[6]金德辉,卢楠生,马仁,金玉生,金荣辉,王世德,等。表皮电子,《科学》,2011年8月12日,第333卷,第838-843页。

[7]刘志强,“聚合物MEMS的研究进展”,机械工程学报,vol. 19, pp. 373 -379, 2007年11月19日。

[8]李建平,“碳纳米管弹性复合材料的研究进展”,高分子材料,vol. 48, pp. 4907-4920, 2007年8月10日。

[9]金德华,卢楠生,R. Ghaffari,金玉生,李顺平,徐良志,等。具有心脏电生理定位和消融治疗功能的多功能球囊导管材料,《自然材料》,第10卷,第316-323页,2011年4月。

[10]T. Yamada, Y. Hayamizu, Y. Yamamoto, Y. Yomogida, A. Izadi-Najafabadi, D. N. Futaba等,“用于人体运动检测的可拉伸碳纳米管应变传感器”,Nature Nanotechnology, vol. 6, pp. 296-301, 2011年5月。

[11]a . R. Aiyar, C. Song, S. H. Kim, M. G. Allen,“基于压阻复合弹性体的全聚合物气流传感器”,智能材料与结构,vol. 18, Nov 2009。

[12]吕南生,吕正昌,杨少贤,J. Rogers, "完全基于弹性体的高灵敏度贴合应变计,“先进功能材料,vol. 22, pp. 4044-4050, 2012年10月10日。”

[13]S. M. Won, H. S. Kim, N. S. Lu, D. G. Kim, C. Del Solar, T. Duenas等。塑料基板上单晶硅纳米带组件的压阻应变传感器和多路复用阵列,”电子器件学报,vol. 58, pp. 4074-4078, 2011年11月。

[14]应明,A. P. Bonifas,卢楠生,苏玉文,李仁,程海英,等。指尖电子器件用硅纳米膜,”纳米技术,vol. 23, Aug . 31 2012。

[15]Kim D., R. Ghaffari, Lu N., Wang S., Lee S. P., H. Keum,等。用于大面积复杂几何心脏测绘和治疗的电子传感器和执行器网,《美国国家科学院院刊》,第109卷,第1991 -19915页,2012年12月4日。

[16]杨s .和吕n .”硅对聚合物应变片的应变系数和拉伸性,”传感器,vol. 13, pp. 8577-8594, 2013。

评论

赵克杰的照片

Nanshu,这是一种材料的固有特性,还是一种结构因素?有什么根本原因吗?测量因子是否应该用局部变形来表示,而不是用平均应变场来表示?另外,如果量规尺寸降到亚微米,你认为表面会有影响吗?谢谢。-Kejie

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柯杰,你提出了一个非常重要的可拉伸应变片的概念,就是材料内在应变系数和系统应变系数的区别。材料固有规系数是一种不随材料或其所处基板形状而变化的材料特性,而系统规系数定义为基板中单位应变的相对电阻变化,这取决于应变敏感电阻的形状和电阻与基板之间的模量不匹配。由于试样中的应变首先传递到应变片的基片上,因此系统应变系数作为应变片规格的应用更为广泛。

传统应变计的固有应变因子与系统应变因子之间的差异不是很大,因为金属迹线与塑料基板之间的模量不匹配相对较小(即约10倍)。然而,当我们在弹性体衬底上使用压阻硅纳米膜时,模量失配可能高达6个数量级。因此,即使硅和弹性体之间的结合是完美的,由于硅被图案成短条,从衬底到硅的应变传递系数远小于1。因此(系统规系数)=(应变传递系数)*(硅的本征规系数)。规范因子的折衷实际上获得了器件的可拉伸性,这在参考文献中有更详细的讨论[16]

滕丽的照片

南树:这是一个非常有趣的话题,我读得很感兴趣。

关于科杰和你的评论,我有一个后续问题。能够测量超出硅弹性极限的应变的硅应变片的精度将依赖于你所说的“应变传递系数”的定量测定。该系数应强烈依赖于应变片结构设计。进一步的复杂性将来自于结构设计应变片在不同载荷和变形状态下可能产生的非线性响应及其各向异性。我想知道在这方面是否有一些通用的准则来保证可拉伸硅基应变片的精度。

卢楠舒的照片

Teng,谢谢你提出了可拉伸应变片的另外两个重要问题:硅的各向异性和形状以及结构的非线性。由于[110]硅的压阻系数比其他取向高得多,因此我们倾向于使用纵向沿[110]方向的长而窄的硅条。它在横向上是窄的,因此我们可以最小化由于基底中的横向泊松应变而引起的应变传递。为了测量三个独立的平面内应变分量,我们制造并模拟了硅基应变rosroset,每个rosroset由三条窄硅条组成:两条正交的[110]硅条和一条45度方向的[100]硅条[15]

在大变形情况下,聚合物上硅结构的非线性是另一个突出的问题,特别是在硅条边缘存在几何和材料不连续的情况下。因此,在参考文献的有限元模拟中,我们必须打开非线性几何函数[16]。在我们的半解析模型的极端情况下,而不是深入非线性,我们简单地拟合比例系数的有限元结果,当带材长度远小于衬底厚度(L/H<<1);当L/H>>1时,简单的线弹性叠加法可以有效地捕获硅内部的平均应变和最大应变。

金丽华的照片

谢谢你带来这个有趣的话题。您主要提到了应变片的两种机制:金属变形引起的电阻变化和半导体中的压阻效应。是否可以用压电效应等其他机制来实现应变片?这些应变计因子能有多大?

超晨的照片

亲爱的纳什,谢谢你介绍了软应变片的有趣方向。正如你在上一部分提到的,分层的强度决定了应变测量的准确性。那么,人们如何防止分层或滑动,在目前的软应变计设置为两种类型的压力表,同时附着力仍然是生物相容性?

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