硅波导中光传播方向对应力极化依赖性的影响

研究了光传播方向对硅基波导应力极化依赖性的影响。由于硅是一种各向异性材料，光弹性效应引起的偏振依赖的变化取决于光的传播方向。结果表明，当光在{100}硅上沿<100>方向传播时，光的折射率和偏振移对应力的敏感性比沿<110>方向传播时高20%左右。(IEEE光子技术通讯，第18卷，第12期，2006年6月)