纳米力学

机械活性单晶结构现在可以在所有三个维度上以小于100纳米的尺寸尺度制造。这些工程结构的基本机械共振频率接近1ghz，机械耗散很小。利用这种结构，我们正在开发一种新的设备，应用于电计、磁强计、表面物理和声子介导过程的物理研究。制造这些装置的方法，结合电子束

光刻和高精度蚀刻，主要应用于单晶Si和iii - iv衬底，但正在寻求扩展到其他材料系统。除了实用之外

应用方面，存在着在力学系统中研究宏观量子隧道等基本量子力学过程的可能性。在本报告中，我们描述了我们处理这个主题的方法。

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